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J-GLOBAL ID：200903017485511160

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびスペーサー

Inventor：
馬場 厚

About 馬場 厚

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中野 孝徳

About 中野 孝徳

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小笠原 昭二

About 小笠原 昭二

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遠藤 昌之

About 遠藤 昌之


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999128502
Publication number (International publication number)：2000319354
Application date： May. 10, 1999
Publication date： Nov. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 十分なプロセスマージンを有し、かつ、耐熱性、透明性、耐薬品性などの諸性能に優れた層間絶縁膜、スペーサーを容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A]不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、エポキシ基を持つ特定の(メタ)クリレート、およびこれらの化合物と異なるオレフィン系不飽和化合物との共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物、それからなる層間絶縁膜あるいはスペーサー。
Claim (excerpt)：
[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)下記式(1)【化1】式中、Rは水素原子またはメチル基であり、R1は炭素数1〜4のアルキル基でありそしてnは1〜6の整数である、で示される単量体および/または下記式(2)【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基であり、pは1〜6の整数でありそしてqは1〜6の整数である、で示される単量体、および(a3)前記単量体(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7)：
C08G 59/20 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08G 59/42 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033
FI (7)：
C08G 59/20 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/46 ,  C08G 59/42 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033
F-Term (76)：
2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC31 ,  2H025BC51 ,  2H025BD23 ,  2H025BE07 ,  2H025CA00 ,  2H025CA39 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J011AA05 ,  4J011PA69 ,  4J011QA03 ,  4J011QA04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB14 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011SA02 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA12 ,  4J011SA16 ,  4J011SA19 ,  4J011SA20 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011SA61 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA73 ,  4J011SA76 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011SA86 ,  4J011SA87 ,  4J011TA04 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011WA01 ,  4J036AK10 ,  4J036EA01 ,  4J036EA04 ,  4J036EA09 ,  4J036FA10 ,  4J036FA12 ,  4J036FA13 ,  4J036FA14 ,  4J036FB03 ,  4J036FB04 ,  4J036HA02 ,  4J036JA07 ,  4J036JA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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