表面マイクロ加工された対称形差圧センサー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡部正夫 (外10名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030510
Publication number (International publication number)：1996247878
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【構成】本発明は半導体デバイス製造技術の表面マイクロ加工法を使用して基板(1)上に沈着積層して形成された対称形容量性差圧センサーに関する。本センサーは相互に完全に電気的に絶縁されたつぎの薄膜層を含む。多結晶シリコンからつくられた少なくとも部分的に伝導性である検知ダイヤフラム(5)およびその検知ダイヤフラム(5)の両側に配置された伝導性対向電極(3と7)。【効果】本発明によれば、それら対向電極(3と7)は多結晶薄膜からつくられそして少なくとも1つの電気伝導性領域を含む。

Claim (excerpt)：

半導体デバイス製造技術の表面マイクロ加工法を使用して基板の上に沈着積層して形成される対称形差圧センサーであって、該センサーが相互に完全に電気的に絶縁された下記の薄膜層、すなわち多結晶シリコンからつくられた少なくとも部分的に伝導性である検知ダイヤフラム;および該検知ダイヤフラムの両側に配置された伝導性対向電極、を含む対称形差圧センサーにおいて、該対向電極が多結晶薄膜からつくられておりそして少なくとも1つの電気伝導性領域を含有していることを特徴とする上記対称形差圧センサー構造体。

IPC (3)：

G01L 13/06 , G01L 9/12 , H01L 29/84

FI (3)：

G01L 13/06 C , G01L 9/12 , H01L 29/84 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

静電容量式圧力センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-204325 Applicant：山武ハネウエル株式会社
半導体圧力センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-312079 Applicant：沖電気工業株式会社
過圧保護ポリシリコン容量性差圧センサー及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-110720 Applicant：ザフォックスボロカンパニー

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