反射防止膜

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西山恵三 , 内尾裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004178534
Publication number (International publication number)：2006003540
Application date： Jun. 16, 2004
Publication date： Jan. 05, 2006
Summary：

【課題】入射角の大きな光線に対しても良好な反射防止効果が得られる紫外光用の反射防止膜を実現すること。【解決手段】基板側から数えて第1、第3、第5、第7番目の層が高屈折率層、基板側から数えて第2、第4、第6、第8番目の層が低屈折率層であり、第1番目から第8番目までの各層の光学的膜厚をそれぞれd1,d2,d3,d4,d5,d6,d7,d8、波長140nmから300nmの範囲の設計中心波長をλ0、とするとき、 0.45λ0≦d1≦0.65λ0 0.05λ0≦d2≦0.20λ0 0.29λ0≦d3≦0.49λ0 0.01λ0≦d4≦0.15λ0 0.05λ0≦d5≦0.20λ0 0.23λ0≦d6≦0.28λ0 0.23λ0≦d7≦0.28λ0 0.23λ0≦d8≦0.28λ0なる条件を満たすよう構成した。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

高屈折率層、低屈折率層よりなる交互層を複数組有する8層構造の反射防止膜であって、基板側から数えて第1、第3、第5、第7番目の層が高屈折率層、基板側から数えて第2、第4、第6、第8番目の層が低屈折率層であり、波長140nmから300nmの範囲に設計中心波長λ0をもち、前記第1番目から第8番目までの各層の光学的膜厚をそれぞれd1,d2,d3,d4,d5,d6,d7,d8とするとき、 0.45λ0≦d1≦0.65λ0 0.05λ0≦d2≦0.20λ0 0.29λ0≦d3≦0.49λ0 0.01λ0≦d4≦0.15λ0 0.05λ0≦d5≦0.20λ0 0.23λ0≦d6≦0.28λ0 0.23λ0≦d7≦0.28λ0 0.23λ0≦d8≦0.28λ0 なる条件を満たすことを特徴とする反射防止膜。

IPC (3)：

G02B 1/11 , G03F 7/20 , H01L 21/027

FI (3)：

G02B1/10 A , G03F7/20 501 , H01L21/30 515D

F-Term (6)：

2H097LA10 , 2K009AA09 , 2K009BB04 , 2K009CC03 , 2K009DD03 , 5F046CB01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

反射防止膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-312277 Applicant：キヤノン株式会社

Cited by examiner (5)

反射防止膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-163225 Applicant：キヤノン株式会社
二波長反射防止膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-248146 Applicant：キヤノン株式会社
反射防止膜及びそれを施した光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-093534 Applicant：キヤノン株式会社

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