ウエハ移載装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木下茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001207994
Publication number (International publication number)：2003023058
Application date： Jul. 09, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：

【要約】【課題】ウエハ移載後の熱処理時などにおいてウエハに対する結晶転位の発生を防止し、ウエハ品質上の信頼性を高める。【解決手段】ウエハホルダHおよび半導体ウエハWを保持する重ね合わせステージ10を把持手段4の移動領域内に配設し、この重ね合わせステージ10におけるウエハ・ホルダ保持状態において、ウエハWがウエハホルダHのウエハ重ね合わせ面から上方に離間する位置に配置されていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ホルダ入出ポートにおけるホルダキャリアからウエハホルダを取り出すと共に、ウエハ入出ポートにおけるウエハキャリアからウエハを取り出し、ウエハボート外で前記ウエハホルダ上に前記ウエハを重ね合わせてウエハボート内に移載するウエハ移載装置であって、前記ウエハ移載装置の把持手段の移動領域内に前記ウエハおよび前記ウエハホルダを保持する、重ね合わせステージを配設し、前記重ね合わせステージにおいて、前記ウエハが前記ウエハホルダの上方に離間する位置に配置され、前記ウエハホルダの下方から把持手段を上昇させることにより、ウエハとウエハホルダとを重ね合わせ、前記重ね合わせた状態でウエハとウエハホルダとをウエハボート内に収納することを特徴とするウエハ移載装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/22 511

FI (3)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 E , H01L 21/22 511 J

F-Term (12)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA09 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA06 , 5F031GA07 , 5F031GA13 , 5F031GA45 , 5F031MA15 , 5F031MA30 , 5F031PA23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ウエハ移載装置および移載方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-044142 Applicant：山形日本電気株式会社
半導体ウエハの移送装置における把持機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-376272 Applicant：ラップマスターエスエフティ株式会社
特開平4-167539

Show all

Return to Previous Page