ペリクル製造用治具およびこれを用いたペリクルの製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：好宮幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998249151
Publication number (International publication number)：2000066376
Application date： Aug. 19, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明は、使用後の接着層を形成し直すことなく繰り返し使用することができるペリクル製造用治具を提供することを主目的とするものである。【解決手段】開口部を有する支持枠と、前記開口部の周囲に設けられた接着層とからなり、前記接着層が0°C〜300°Cの範囲内にガラス転移温度を有する高分子材料からなるペリクル製造用治具である。

Claim (excerpt)：

開口部を有する支持枠と、前記開口部の周囲に設けられた接着層とからなり、前記接着層が0°C〜300°Cの範囲内にガラス転移温度を有する高分子材料からなることを特徴とするペリクル製造用治具。

F-Term (1)：

2H095BC39

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

含フッ素樹脂薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-173656 Applicant：三井石油化学工業株式会社
ペリクル及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-103553 Applicant：信越化学工業株式会社
リソグラフィー用ペリクル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-075671 Applicant：信越化学工業株式会社

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