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J-GLOBAL ID:200903019882252904
光吸収分析装置
Inventor:
,
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
谷 義一
, 阿部 和夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007258756
Publication number (International publication number):2009085872
Application date: Oct. 02, 2007
Publication date: Apr. 23, 2009
Summary:
【課題】種々の光学的な雑音を同時に除去することにより検出精度を向上させ、波長1.9〜5.5μmの中赤外光を連続的に発生させることにより、複数の被測定物を同時に測定する。【解決手段】光源からのレーザ光を被測定物に入射し、被測定物からの透過光、反射光または散乱光を受光することにより、被測定物の吸収を測定する光吸収分析装置において、薄膜のビームスプリッタからなり、レーザ光の光路上、被測定物を収容する容器に入射する直前で、光源からのレーザ光を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐されたレーザ光の一部を参照光として測定する第1測定手段と、被測定物を収容する容器の中を透過、反射または散乱して出力された測定光を測定する第2測定手段と、第1および第2測定手段の測定した信号強度を組み合わせて、被測定物の吸収信号を算出する演算手段とを備えた。【選択図】図11
Claim (excerpt):
光源からのレーザ光を被測定物に入射し、前記被測定物からの透過光、反射光または散乱光を受光することにより、前記被測定物の吸収を測定する光吸収分析装置において、
前記レーザ光の光路上、前記被測定物を収容する容器に入射する直前で、前記光源からのレーザ光を分岐する分岐手段と、
該分岐手段により分岐されたレーザ光の一部を参照光として測定する第1測定手段と、
前記被測定物を収容する容器の中を透過、反射または散乱して出力された測定光を測定する第2測定手段と、
前記第1および第2測定手段の測定した信号強度を組み合わせて、前記被測定物の吸収信号を算出する演算手段とを備え、
前記分岐手段は、薄膜のビームスプリッタであることを特徴とする光吸収分析装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (28):
2G059AA01
, 2G059BB02
, 2G059CC05
, 2G059CC06
, 2G059CC09
, 2G059CC20
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059GG01
, 2G059GG07
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ03
, 2G059JJ13
, 2G059JJ14
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059JJ30
, 2G059NN05
, 2G059NN06
, 2K002AA04
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002EA07
, 2K002FA27
, 2K002HA20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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レーザー分光分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-197984
Applicant:日本酸素株式会社
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2次元分光装置及び膜厚測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-321267
Applicant:オムロン株式会社
-
フローセル及びこのフローセルを用いた粒子測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-191194
Applicant:リオン株式会社
-
波長変換装置および光吸収測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-010272
Applicant:日本電信電話株式会社
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特開平4-364442
-
特開平1-156637
-
検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-354365
Applicant:有限会社ニュークリエイション
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