干渉フィルタを含む光導波路とその形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002259232
Publication number (International publication number)：2004101566
Application date： Sep. 04, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】簡便に低コストで形成可能な小型の干渉フィルタ含有光導波路素子を提供する。【解決手段】干渉フィルタを含む光導波路は、クラッド部に包囲されたコア部(2a)を含む光導波路中に形成された干渉フィルタを含み、その光導波路の少なくともコア部(2a)はDLC膜で形成されており、干渉フィルタはコア部のDLC膜において複数の相対的高屈折率部(2b)と複数の相対的低屈折率部(2a)を交互に含んでいる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

クラッド部に包囲されたコア部を含む光導波路中に形成された干渉フィルタを含み、前記光導波路の少なくともコア部はDLC膜で形成されており、前記干渉フィルタは前記コア部の前記DLC膜において複数の高屈折率部と複数の低屈折率部を交互に含んでいることを特徴とする干渉フィルタを含む光導波路。

IPC (3)：

G02B6/12 , G02B5/18 , G02B6/13

FI (3)：

G02B6/12 F , G02B5/18 , G02B6/12 M

F-Term (12)：

2H047KA02 , 2H047LA19 , 2H047PA05 , 2H047PA22 , 2H047PA24 , 2H047PA30 , 2H047QA04 , 2H049AA01 , 2H049AA34 , 2H049AA45 , 2H049AA59 , 2H049AA62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

無定形炭素膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-207755 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所
光導波路型ブラッグ回折格子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-288298 Applicant：日本板硝子株式会社
グレーティング並びにグレーティング形成方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-224272 Applicant：学校法人早稲田大学

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