感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993220704
Publication number (International publication number)：1995056333
Application date： Aug. 12, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【構成】本発明の感放射線性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、感放射線化合物及び溶剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、前記溶剤が乳酸アルキルエステル及び炭素数7〜14のモノケトン化合物を含有してなる混合溶剤であることを特徴とする。【効果】本発明の感放射線性樹脂組成物によれば、感度、解像度等に優れた、特に大口径化された基板へのスピンコート法による塗布性に優れたポジ型レジスト組成物を得ることができる。従って、半導体集積回路の製造に好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線化合物及び溶剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、前記溶剤が乳酸アルキルエステル及び炭素数7〜14のモノケトン化合物を含有してなる混合溶剤であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/022 , G03F 7/004 501 , G03F 7/16 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭62-123444
ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-316499 Applicant：住友化学工業株式会社
ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-086913 Applicant：東京応化工業株式会社

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Cited by examiner (5)

特開昭62-123444
特開昭62-123444
ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-316499 Applicant：住友化学工業株式会社

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