ポジ型レジスト組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：阿形明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993086913
Publication number (International publication number)：1994273929
Application date： Mar. 23, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【構成】 (A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物とを、(C)(イ)2-オキシロプロピオン酸アルキルと(ロ)温度20°Cにおける粘度が1センチポアズ以下の有機溶剤と場合により用いられる(ハ)炭化水素系有機溶剤との混合溶剤に溶解して成るポジ型レジスト組成物である。【効果】塗膜性、保存安定性、ステップカバレッジ性に優れ、かつ安全性にも優れたポジ型レジスト組成物であって、電子部品材料製造などに好適に用いられる。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基含有化合物とを、(C)(イ)2-オキシプロピオン酸アルキルと(ロ)温度20°Cにおける粘度が1センチポアズ以下の有機溶剤との混合溶剤に溶解して成るポジ型レジスト組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平3-107165
特開昭62-036657
特開平1-293340

Show all

Return to Previous Page