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J-GLOBAL ID：200903020998115937

検査装置及び方法

Inventor：
中村 豊一

About 中村 豊一


Applicant, Patent owner：
NECエレクトロニクス株式会社

About NECエレクトロニクス株式会社


Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005134085
Publication number (International publication number)：2006308513
Application date： May. 02, 2005
Publication date： Nov. 09, 2006
Summary：
【課題】 サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。【解決手段】 ニポウディスク120を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
サンプルの検査対象の箇所に加熱用レーザを照射して加熱し検出用レーザを集光させ前記検出用レーザの反射光を利用して前記サンプルの熱物性値を導出する検査装置であって、 合焦時の前記サンプル上のスポットと共役な位置にピンホールを配置してなる共焦点光学系を備え、 複数の前記ピンホールから、前記サンプルの複数のスポットに、少なくとも前記検出用レーザを集光し、前記サンプルの前記複数のスポットからの前記検出用レーザの反射光に基づき、前記サンプルの前記複数のスポットにおける熱物性値を採取可能としてなる、ことを特徴とする検査装置。
IPC (3)：
G01N 25/72 ,  G01J 5/00 ,  G01J 5/48
FI (4)：
G01N25/72 G ,  G01J5/00 B ,  G01J5/00 101C ,  G01J5/48 A
F-Term (51)：
2G040AA05 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA27 ,  2G040CA01 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040DA12 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC04 ,  2G040HA02 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051CD06 ,  2G051DA05 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04 ,  2G066AC20 ,  2G066BA14 ,  2G066BC15 ,  2G066BC21 ,  2G066CA01 ,  2G066CA04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (5)
  • 微小領域熱物性測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-192627   Applicant：科学技術振興事業団, 株式会社ベテル
  • 薄膜熱物性測定法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-283735   Applicant：株式会社ベテル
  • 共焦点用光スキャナ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-329061   Applicant：横河電機株式会社
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