走査型近接場光学顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000141833
Publication number (International publication number)：2001324440
Application date： May. 15, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、比較的小さな開口数を持つ集光レンズを使用していても大きな角度で広がる散乱光を率よく検出することができるようにした走査型近接場光学顕微鏡を提供するを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、試料に光を照射する手段と、試料にプローブを近接させ走査する走査手段と、照射により発生した散乱光を集光するもので、それぞれ、異なる光軸を持った複数の集光光学系と、前記複数の集光光学系にそれぞれ設けられた複数の散乱光検出機構とを有することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡が提供される。

Claim (excerpt)：

試料に光を照射する手段と、試料にプローブを近接させ走査する走査手段と、照射により発生した散乱光を集光するもので、それぞれ、異なる光軸を持った複数の集光光学系と、前記複数の集光光学系にそれぞれ設けられた複数の散乱光検出機構と、を有することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

走査型近接場光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-122198 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
多方位同時検出光集光器および走査型近接場顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-258703 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型近接場光学顕微鏡、及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-002171 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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