多方位同時検出光集光器および走査型近接場顕微鏡

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998258703
Publication number (International publication number)：2000088734
Application date： Sep. 11, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】走査型近接場顕微鏡に用いる光集光系において、複数の光導波路または光検出器を搭載できる多方位同時検出光集光器を使う事で、得られる光情報の中から、これまで不可能であった、凹凸、材質などに依存した成分を分離する事が可能にする。【解決手段】ドーム1に設けられた導波路穴2に端面を平坦に壁開くした光ファイバー15を差し込む事で、ある立体角の光情報を同時に複数観察できる。多方位同時検出光集光器14自体は対象物の透過側にも反射側にも設置する事が可能である。情報部分をきりとったタイプの多方位同時検出光集光器14では光てこを使用する事も可能である。それらの光情報を演算処理する事により凹凸、材質に依存した成分を分離する事が可能でなる。

Claim (excerpt)：

走査型近接場顕微鏡に使用する光集光系であって、点光源からの光を多方位から同時検出することを特徴とする多方位同時検出光集光器。

IPC (2)：

G01N 13/14 , G01B 11/24

FI (2)：

G01N 37/00 E , G01B 11/24 Z

F-Term (15)：

2F065AA51 , 2F065DD02 , 2F065FF00 , 2F065FF44 , 2F065GG04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ08 , 2F065JJ24 , 2F065LL01 , 2F065LL03 , 2F065LL67 , 2F065MM02 , 2F065PP04 , 2F065PP24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

近視野光学顕微鏡
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平6-517415 Applicant：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
近接視野顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-033208 Applicant：日本電信電話株式会社
微小部光物性測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-165558 Applicant：株式会社日立製作所

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