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J-GLOBAL ID：200903021039003921

深紫外レーザー装置

Inventor： 金田 有史 ,  浦田 佳治 ,  和田 智之 ,  今井 信一
Applicant, Patent owner： 株式会社メガオプト ,  アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005271357
Publication number (International publication number)：2007086104
Application date： Sep. 20, 2005
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：

【課題】波長198.3〜198.8nmの波長域のレーザー光を発生することができるとともに、照明用の光源として各種装置に搭載可能であり、かつ、実用的で装置の全体構成を小型化したロバスト性の高い深紫外レーザー装置を提供する。【解決手段】第1の光源よりパルス出力される波長1064〜1065nmのレーザー光を第1の基本波とし、第1の波長変換手段により上記第1の基本波を波長変換して得た第4高調波を第2の基本波とし、第2の光源よりパルス出力される波長1560〜1570nmのレーザー光を第3の基本波とし、第2の波長変換手段により上記第3の基本波を波長変換して得た第2高調波を第4の基本波とし、和周波発生手段により上記第2の基本波と上記第4の基本波との和周波光である波長198.3〜198.8nmのレーザー光を発生させる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

第1の光源よりパルス出力される波長1064〜1065nmのレーザー光を第1の基本波とし、 第1の波長変換手段により前記第1の基本波を波長変換して得た第4高調波を第2の基本波とし、 第2の光源よりパルス出力される波長1560〜1570nmのレーザー光を第3の基本波とし、 第2の波長変換手段により前記第3の基本波を波長変換して得た第2高調波を第4の基本波とし、 和周波発生手段により前記第2の基本波と前記第4の基本波との和周波光である波長198.3〜198.8nmのレーザー光を発生させる ことを特徴とする深紫外レーザー装置。

IPC (3)：

G02F 1/37 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10

FI (4)：

G02F1/37 ,  H01S3/06 B ,  H01S3/10 C ,  H01S3/10 A

F-Term (10)：

2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002BA03 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002HA18 ,  2K002HA20 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 紫外レーザ装置及び半導体露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-152394   Applicant：株式会社ニコン
• レーザ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-258124   Applicant：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社

Cited by examiner (4)

• 光源装置及び光照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-189435   Applicant：株式会社ニコン
• 波長変換装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-054119   Applicant：サイバーレーザー株式会社
• レーザ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-258124   Applicant：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社
• 特開平3-292018
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• Appl.Phys.Lett., 20021111, Vol.81,No.20, 3732-3734