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J-GLOBAL ID：200903021101601008

ベルト状金型およびそれを用いたナノインプリント装置

Inventor：
長谷川 満

About 長谷川 満

, 
荻野 雅彦

About 荻野 雅彦


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007251415
Publication number (International publication number)：2009078521
Application date： Sep. 27, 2007
Publication date： Apr. 16, 2009
Summary：
【課題】ナノインプリントにおいて高アスペクト比の微細構造体を高速で安定して形成するための微細構造パターン転写用ベルト状金型およびそれを用いた微細パターン転写装置(ナノインプリント装置)を提供する。【解決手段】本発明のナノインプリント用のベルト状金型は、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ナノインプリント用の金型であって、 ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、 前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を前記多孔質体に有していることを特徴とするベルト状金型。
IPC (2)：
B29C 59/04 ,  H01L 21/027
FI (2)：
B29C59/04 B ,  H01L21/30 502D
F-Term (29)：
4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH36 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ10 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CC02 ,  4F202CD23 ,  4F202CD30 ,  4F202CK89 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA05 ,  4F209PB02 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PQ06 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ16 ,  5F046AA28
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 米国特許第5,259,926号公報
  • 米国特許第5,772,905号公報
  • 微細構造転写装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-151763   Applicant：株式会社日立プラントテクノロジー
Cited by examiner (5)
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