通気性を有するフィルムを備えるスタンパーと該スタンパーを備える成形装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004077357
Publication number (International publication number)：2005267726
Application date： Mar. 18, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【課題】スタンパーを金属製ステージに貼り付ける時に、両者間に存する空気に起因して、スタンパーの表面に凹凸が発生すろことを回避する。【解決手段】スタンパー30の金属製ステージ10上に固定化する方法であって、スタンパー30および金属製ステージ10を準備する工程と、スタンパー30と金属製ステージ10との間に、通気性を有するフィルム20を配設する工程とを含み、通気性を有するフィルム20は両面接着シートを介して固定化される。フィルムは、厚みが5〜1000μm、空孔率が10〜70%であるものを用いる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

スタンパーの金属製ステージ上への固定化方法であって、 (1)前記スタンパーおよび前記金属製ステージを準備する工程と、 (2)前記スタンパーと前記金属製ステージとの間に、通気性を有するフィルムを配設する工程と、を含む固定化方法。

IPC (1)：

G11B7/26

FI (1)：

G11B7/26 511

F-Term (3)：

5D121DD07 , 5D121DD17 , 5D121DD18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

無電解めっき方法並びにスタンパーの製造方法及び製造装置
Gazette classification：再公表公報 Application number：JP1996000887 Applicant：花王株式会社

Cited by examiner (7)

フレキシブルスタンパー、ロール状スタンパー、および光情報記録媒体用基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-014967 Applicant：キヤノン株式会社
光デイスク用スタンパ裏面研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-148580 Applicant：株式会社リコー
ディスク用金属原盤の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-120723 Applicant：東芝イーエムアイ株式会社

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