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J-GLOBAL ID：200903021124352420

積層型圧電素子の製造方法

Inventor：
小澤 里志

About 小澤 里志

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井上 正良

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落合 利明

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上山 竜祐

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桜内 禎治

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Applicant, Patent owner：
TDK株式会社

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大研化学工業株式会社

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Agent (2)： 大場 充 ,  堀川 美夕紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005250938
Publication number (International publication number)：2007067152
Application date： Aug. 31, 2005
Publication date： Mar. 15, 2007
Summary：
【課題】 低酸素還元雰囲気中において低温で焼成しても高い圧電特性を得ることができる。【解決手段】 圧電磁器組成物粒子を含む圧電体層前駆体と、導電粒子を含む内部電極層前駆体とが交互に積層された積層体を作製する工程と、積層体を焼成する工程と、を備え、圧電磁器組成物粒子が、式(1)で表される組成物に対して、鉛を酸化物に換算して0.01〜2質量%の範囲内で含有すると共に、亜鉛を酸化物に換算して2質量%以下の範囲内で含有し、(Pba-b Meb )[(Zn1/3 Nb2/3 )x Tiy Zrz ]O3 ...(1)(0.96≦a≦1.03、0≦b≦0.1、x+y+z=1、0.05≦x<0.125、0.275<y≦0.5、0.375<z≦0.6をそれぞれ満たす範囲内の値である。Meは、Sr、Ca及びBaの少なくとも1種、内部電極層前駆体が、卑金属粒子と、焼成により圧電体を構成する圧電体前駆化合物とを含む。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
圧電磁器組成物粒子を含む圧電体層前駆体と、 導電粒子を含む内部電極層前駆体とが交互に積層された積層体を作製する工程と、 前記積層体を焼成する工程と、 を備え、 前記圧電磁器組成物粒子が、 式(1)で表される組成物に対して、 鉛(Pb)を酸化物(PbO)に換算して0.01〜2質量%の範囲内で含有すると共に、 亜鉛(Zn)を酸化物(ZnO)に換算して2質量%以下(ただし、0を含まず)の範囲内で含有し、 (Pba-b Meb )[(Zn1/3 Nb2/3 )x Tiy Zrz ]O3 ...(1) (式(1)において、a、b、x、y、zは、0.96≦a≦1.03、0≦b≦0.1、x+y+z=1、0.05≦x<0.125、0.275<y≦0.5、0.375<z≦0.6をそれぞれ満たす範囲内の値である。Meは、ストロンチウム(Sr)、カルシウム(Ca)およびバリウム(Ba)からなる群のうちの少なくとも1種を表す。) 前記内部電極層前駆体が、 卑金属粒子と、焼成により圧電体を構成する圧電体前駆化合物とを含むことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。
IPC (5)：
H01L 41/083 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22
FI (6)：
H01L41/08 Q ,  C04B35/49 S ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z
F-Term (12)：
4G031AA04 ,  4G031AA05 ,  4G031AA06 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA14 ,  4G031AA26 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4G031GA10 ,  4G031GA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (4)
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