積層一体焼成型の電気機械変換素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高橋祥泰 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001376244
Publication number (International publication number)：2002261346
Application date： Dec. 10, 2001
Publication date： Sep. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 Ag-Pd系電極と同等以上の電極特性を有し,かつ低コストの電極材料を用いた積層一体焼成型の電気機械変換素子,特に,耐マイグレーション性に優れたものを提供すること。【解決手段】複数層のセラミック層11と,セラミック層11間に介在させた内部電極層21,22とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子1において,内部電極層21,22は,大気中で酸化物が安定な金属を主成分として含有し,該金属の1molあたりのイオン化ポテンシャルをA(kJ/mol),蒸発熱エネルギーをB(kJ/mol),該金属の酸化物の蒸発熱エネルギーをC(kJ/mol)としたときに(A+B)×Cの値が-34000(kJ/mol)2以下である。

Claim (excerpt)：

圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層と,該セラミック層間に介在させた内部電極層とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子において,上記内部電極層は,大気中で酸化物が安定な金属を主成分として含有し,該金属の1molあたりのイオン化ポテンシャルをA(kJ/mol),蒸発熱エネルギーをB(kJ/mol),該金属の酸化物の蒸発熱エネルギーをC(kJ/mol)としたときに(A+B)×Cの値が-34000(kJ/mol)2以下であることを特徴とする積層一体焼成型の電気機械変換素子。

IPC (7)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , F02M 47/02 , F02M 51/00 , F03G 7/00 , H01L 41/09 , H01L 41/187

FI (7)：

C04B 35/49 A , F02M 47/02 , F02M 51/00 E , F03G 7/00 H , H01L 41/08 Q , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 D

F-Term (37)：

3G066AA07 , 3G066AB02 , 3G066AC09 , 3G066AD12 , 3G066BA19 , 3G066BA33 , 3G066BA46 , 3G066BA61 , 3G066CC06T , 3G066CC14 , 3G066CC30 , 3G066CC64U , 3G066CC68T , 3G066CC68U , 3G066CC69 , 3G066CC70 , 3G066CD15 , 3G066CD17 , 3G066CD18 , 3G066CD28 , 3G066CD30 , 3G066CE13 , 3G066CE27 , 3G066CE31 , 4G031AA03 , 4G031AA04 , 4G031AA05 , 4G031AA08 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA14 , 4G031AA18 , 4G031AA19 , 4G031AA32 , 4G031AA39 , 4G031BA10 , 4G031CA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平4-324687
積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-094116 Applicant：日産自動車株式会社
積層型電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-230586 Applicant：株式会社村田製作所

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