複合材の研磨方法および仕上げ研磨に用いるラッピングオイル組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：倉内基弘 , 風間弘志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003434240
Publication number (International publication number)：2005186246
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】複合材の研磨方法および仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物を提供する。【解決手段】硬度の異なる複数の異硬度材料から構成される複合材の研磨方法において、ダイヤモンド研磨剤粒子を含有する遊離砥粒スラリー組成物を用いて主研磨を行い、その後、前記研磨剤粒子よりも小さい粒子径のナノ炭素粒子を含有するラッピングオイルを用いて仕上げ研磨を行う。前記ナノ炭素粒子はクラスターダイヤモンドまたはグラファイトクラスターダイヤモンドとする。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

異硬度材料で構成される複合材をラッピング定盤上に配置し、ダイヤモンド研磨材粒子を含有する遊離砥粒スラリー組成物を用いて主研磨を行い、その後、前記ダイヤモンド研磨材粒子の平均粒径よりも平均粒径が小さいナノ炭素粒子を含有するラッピングオイル組成物を用いて仕上げ研磨を行うことを特徴とする複合材の研磨方法。

IPC (2)：

B24B37/00 , G11B5/31

FI (2)：

B24B37/00 H , G11B5/31 M

F-Term (7)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058CB02 , 3C058CB10 , 3C058DA02 , 3C058DA16 , 5D033DA31

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭62-292358号公報
特開平3-92264号公報
研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-091405 Applicant：松下電器産業株式会社

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Cited by examiner (3)

ラップ加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-213834 Applicant：信越半導体株式会社, 長野電子工業株式会社
仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-008715 Applicant：東京磁気印刷株式会社, ティーディーケイ株式会社
超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-360417 Applicant：株式会社東京ダイヤモンド工具製作所

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