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J-GLOBAL ID:200903021855970140

表面欠陥検出方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005227779
Publication number (International publication number):2007040923
Application date: Aug. 05, 2005
Publication date: Feb. 15, 2007
Summary:
【課題】凹凸性筋状欠陥が帯状体の表面のどの位置に存在してもその検出が可能となり、かつ、凹凸性筋状欠陥を人間が認知することが容易なパタンとして可視化することが可能な表面欠陥検出方法及び装置を提供する。【解決手段】表面欠陥検出装置1は、帯状体Sの表面に対し、明暗マルチストライプパタンの光を、そのストライプの延びる方向が帯状体Sの流れ方向に対して斜傾する方向となるように照射する照明手段2と、帯状体Sの表面からの反射光を撮像する撮像手段3とを備えることを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt):
鏡面乃至半鏡面の帯状体表面に対し、明暗マルチストライプパタンの光を、そのストライプの延びる方向が前記帯状体の流れ方向に対して斜傾する方向となるように照射する工程と、 前記帯状体表面からの反射光を撮像する工程と、 その撮像画像に基づいて、帯状体表面においてその流れ方向に連続して延びる凹凸性筋状欠陥を検出する工程とを備えることを特徴とする表面欠陥検出方法。
IPC (1):
G01N 21/892
FI (1):
G01N21/892 B
F-Term (9):
2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BC02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051FA00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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