表面欠陥検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小塩豊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996139037
Publication number (International publication number)：1997318337
Application date： May. 31, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】被検査面が複雑な曲面である場合、装置の制御が複雑になり、表面欠陥を自動的に且つ精度良く検出することが難しいと共に、照明手段の照度劣化に対する対応が十分でないという問題があった。【解決手段】被検査体であるボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段1と、ボディ5を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置であるCCDカメラ3が取り付けられた撮像装置固定手段2と、CCDカメラ3により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその結果を出力する欠陥出力手段43bを有すると共に輝度判定手段43aを有する検査処理手段4を備え、照明手段1および撮像装置固定手段2の門型内部にボディ5を通過させて欠陥出力手段43bにより被検査面の検査を行うと共に輝度判定手段43aにより被検査面の輝度検査を行う表面欠陥検査装置。

Claim (excerpt)：

被検査体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、被検査体を囲む門型形状を成し且つ被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成する複数の撮像装置が取り付けられた撮像装置固定手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出してその結果を出力する検査処理手段と、撮像装置により得られた受光画像に基づいて輝度レベルを計測して輝度の所定値との比較により輝度の異常有無を判定する輝度判定手段を備え、照明手段および撮像装置固定手段の門型内部に被検査体を通過させて被検査面の欠陥検査と輝度検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

表面欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-220578 Applicant：日産自動車株式会社
透明基板の位置合わせ方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-123144 Applicant：カシオ計算機株式会社
検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-185923 Applicant：エヌオーケー株式会社

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