表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小野由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000126632
Publication number (International publication number)：2001005038
Application date： Apr. 26, 2000
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板を製造する時、マスクの数を減らすことができる新たな方法を提供する。【解決手段】絶縁基板上にゲート配線を形成する段階と、ゲート絶縁膜パターンを形成する段階と、半導体パターンを形成する段階と、抵抗性接触層パターンを形成する段階と、互いに分離されて形成されており、同一層で作られたソース電極及びドレーン電極と、ソース電極と連結されたデータ線を含むデータ配線を形成する段階と、ドレーン電極を露出させる第1接触孔を有している赤、緑、青のカラーフィルターを形成する段階と、ドレーン電極と連結される画素電極を形成する段階とを含み、ソース及びドレーン電極の分離は、ソース電極及びドレーン電極の間に位置して第1厚さを有する第1部分と、第1厚さより厚い厚さを有する第2部分及び第1厚さより薄い第3部分を含む感光膜パターンを利用してソース及びドレーン電極を分離する。

Claim (excerpt)：

絶縁基板上にゲート線及びこれと連結されたゲート電極を含むゲート配線を形成する段階と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜パターンを形成する段階と、前記ゲート絶縁膜上に半導体パターンを形成する段階と、前記半導体パターン上に抵抗性接触層パターンを形成する段階と、前記接触層パターン上に互いに分離されて形成されており、同一層で作られたソース電極及びドレーン電極と、前記ソース電極と連結されたデータ線を含むデータ配線を形成する段階と、前記データ配線を覆って前記ドレーン電極を露出させる第1接触孔を有している赤、緑、青のカラーフィルターを形成する段階と、前記第1接触孔を通じて前記ドレーン電極と連結される画素電極を形成する段階と、を含み、前記ソース及びドレーン電極の分離は感光膜パターンを利用した写真エッチング工程を通じて行われ、前記感光膜パターンは前記ソース電極及びドレーン電極の間に位置して第1厚さを有する第1部分と、前記第1厚さより厚い厚さを有する第2部分及び第1厚さより薄い第3部分を含む液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の製造方法。

IPC (8)：

G02F 1/1368 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 349 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (8)：

G02F 1/136 500 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 349 B , H01L 29/78 612 D , H01L 29/78 616 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

アクティブマトリクス基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-225404 Applicant：シャープ株式会社
液晶表示装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-283194 Applicant：田中栄
薄膜のパターニング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-318396 Applicant：シャープ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

三国電子IPSTFT-LCDを2PEPで製造するプロセスを考案 TFTチャネル部分をハーフトーン露光

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