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J-GLOBAL ID：200903022235923440

懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置

Inventor：
安藤 光裕前滝 進

About 安藤 光裕前滝 進


Applicant, Patent owner：
アシスト シンコー株式会社

About アシスト シンコー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005285718
Publication number (International publication number)：2007096140
Application date： Sep. 30, 2005
Publication date： Apr. 12, 2007
Summary：
【課題】 懸垂式昇降搬送台車の環状軌道に沿って設けられ、半導体製造用基板(ウエハ)に対して異なる処理を施す複数の処理ステーションにおけるFOUP用搬入・搬出ポート上に載置されており、当該処理ステーションにて処理済の基板を収納したFOUPと、懸垂式昇降搬送台車によって搬送され当該処理ステーションにて処理を受けようとしている基板を収納したFOUPとを、汎用の懸垂式昇降搬送台車の昇降機能を基に交換できるようにすること。【解決手段】 処理ステーション5におけるFOUP用搬入・搬出ポート5a上に載置され、当該処理ステーション5において処理済の基板を収納したFOUP9aと、当該FOUP9aの上方に位置し、懸垂式昇降搬送台車にて搬送され、当該処理ステーション5にて処理を得ようとしている基板を収納したFOUP9bとを、懸垂式昇降搬送台車の昇降機構と、その昇降領域にて水平方向に進退する一対のスライド板10by、10cyの作用とで交換できるように構成する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
次の第一〜第四工程からなる懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法。 第一工程:懸垂式昇降搬送台車の把持部に把持されている所定のステーションへの搬入用物品を降下させ、上下方向に並ぶ懸垂式一時保管棚の一方の棚に載置する 第二工程:懸垂式昇降搬送台車の把持部において、前記所定のステーションの物品搬入・搬出ポートに載置されている搬出用物品を把持、上昇させ、前記懸垂式一時保管棚の他方に載置する 第三工程:前記懸垂式一時保管棚の一方の棚に載置されている搬入用物品を、懸垂式昇降搬送台車の把持部にて把持、降下させ、前記所定のステーションの物品搬入・搬出ポートに載置する 第四工程:前記懸垂式一時保管棚の他方の棚に載置されている搬出用物品を懸垂式昇降搬送台車の把持部にて把持、上昇させる。
IPC (4)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B61B 13/06 ,  B61D 47/00
FI (5)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  B65G49/07 L ,  B61B13/06 D ,  B61D47/00 A
F-Term (19)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA10 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031GA59 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031NA02 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (4)
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