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J-GLOBAL ID:200903096409578716

移載装置及び移載システム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 梶 良之 ,  須原 誠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003380702
Publication number (International publication number):2005150129
Application date: Nov. 11, 2003
Publication date: Jun. 09, 2005
Summary:
【課題】被搬送物を効率よく搬送することができ、且つ、無駄な待ち時間を短縮することができる移載装置を提供する。【解決手段】FOUP30を一時的に保管する複数台の保管棚3と、FOUP30を保持可能な把持機構25を備えている。さらに、把持機構25を保管棚3に対応した移載領域内の任意の位置に位置決め可能に移動させる昇降機構23及び伸縮機構24と、昇降機構23及び伸縮機構24を複数台の保管棚3に移動させる移動機構22とを備えている。【選択図】図4
Claim (excerpt):
被搬送物を一時的に保管する複数台の保管棚装置と、 前記被搬送物を保持可能な保持機構を備え、前記保持機構を前記保管棚装置に対応した移載領域内の任意の位置に位置決め可能に移動させる棚内移動装置と、 前記棚内移動装置を前記複数台の保管棚装置に移動させる棚間移動装置と を備えていることを特徴とする移載装置。
IPC (4):
H01L21/68 ,  B65G1/00 ,  B65G1/04 ,  B65G49/07
FI (4):
H01L21/68 A ,  B65G1/00 541 ,  B65G1/04 547 ,  B65G49/07 L
F-Term (35):
3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022FF33 ,  3F022HH01 ,  3F022JJ02 ,  3F022JJ08 ,  3F022KK02 ,  3F022MM07 ,  3F022MM11 ,  3F022NN38 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA15 ,  5F031GA19 ,  5F031GA36 ,  5F031GA42 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA54 ,  5F031GA58 ,  5F031JA01 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031MA07 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1) Cited by examiner (6)
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