Pat
J-GLOBAL ID:200903073044060682
搬送システム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
塩入 明
, 塩入 みか
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004236547
Publication number (International publication number):2006054389
Application date: Aug. 16, 2004
Publication date: Feb. 23, 2006
Summary:
【課題】搬送車コントローラでの搬送指令の割付を容易にすると共に、搬送効率を高めることのできる搬送システムを提供する。【解決手段】処理装置16からの物品の搬送を天井走行車12aへ割り付け、処理装置16への物品の搬送を天井走行車12bに割り付ける。天井走行車12bが先に処理装置16に到着すると、搬送物品をロードポート20に面したバッファ棚22に払い出し、ロードポート20の物品を荷積みして搬送する。後で到着した天井走行車12aは、バッファ棚22の物品をロードポート20へ移載する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
ロードポートを備えた処理装置に沿って走行経路を走行し物品を搬送する搬送車と、搬送車に物品の搬入先を指令する搬送車コントローラとを備えたシステムにおいて、
ロードポート付近にバッファ用の棚を設けると共に、前記コントローラから所定のロードポートへの物品の搬入を指令された搬送車が前記ロードポートへ到着した際に、前記ロードポートが在荷の場合、搬送車が、前記コントローラの管理下で、搬入物品を前記ロードポートの近傍のバッファ用の棚へ荷下ろしすると共に、前記ロードポートの物品を搬出するようにしたことを特徴とする、搬送システム。
IPC (3):
H01L 21/677
, B65G 1/00
, B65G 49/07
FI (4):
H01L21/68 A
, B65G1/00 501C
, B65G49/07 D
, B65G49/07 L
F-Term (16):
3F022AA08
, 3F022FF01
, 3F022LL07
, 3F022LL12
, 3F022MM08
, 3F022MM11
, 3F022MM42
, 3F022NN31
, 3F022NN51
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA17
, 5F031FA11
, 5F031FA15
, 5F031GA58
, 5F031PA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (8)
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マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-172953
Applicant:株式会社半導体先端テクノロジーズ
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センタリング装置及び半導体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-018848
Applicant:東京エレクトロン株式会社, 三星電子株式会社
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特開平1-303736
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露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-230727
Applicant:株式会社仙台ニコン, 株式会社ニコン
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自動搬送システムの搬送制御方法、および搬送制御装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-104780
Applicant:株式会社日立製作所, 日立計測器サービス株式会社
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自動搬送車
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-231225
Applicant:株式会社アドバンスト・ディスプレイ
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特開昭63-116215
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ロードポート
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-091972
Applicant:神鋼電機株式会社, 東京エレクトロン株式会社
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