感光性高分子膜表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：後藤幸久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004217237
Publication number (International publication number)：2005134873
Application date： Jul. 26, 2004
Publication date： May. 26, 2005
Summary：

【課題】マスクを介さずに干渉露光させ、高分子膜の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく簡便な方法により、高分子膜の表面積が大きくても容易に、高分子膜上に釣鐘状構造部を形成することができる釣鐘型凸状構造部の形成方法を提供する。【解決手段】感光性高分子膜3表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法は、感光性機能を有する高分子膜3の表面に、釣鐘型凸状構造部を形成させる方法であって、感光性機能を有する高分子膜3の表面に、該高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域のパルスレーザー光4a、4bを、マスクを介さずに干渉露光させることにより、表面レリーフグレーティング構造を経由して形成された釣鐘型凸状構造部を、前記高分子膜3の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく形成させることを特徴とする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

感光性機能を有する高分子膜の表面に、釣鐘型凸状構造部を形成させる方法であって、感光性機能を有する高分子膜の表面に、該高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域のパルスレーザー光を、マスクを介さずに干渉露光させることにより、表面レリーフグレーティング構造を経由して形成された釣鐘型凸状構造を有している釣鐘型凸状構造部を、前記高分子膜の位置の回転や干渉露光の方向の回転を行うことなく形成させることを特徴とする感光性高分子膜表面上への釣鐘型凸状構造部の形成方法。

IPC (4)：

G03F7/20 , G02B3/00 , G02B5/18 , G03F7/004

FI (4)：

G03F7/20 505 , G02B3/00 A , G02B5/18 , G03F7/004 521

F-Term (14)：

2H025AA02 , 2H025AB14 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BH05 , 2H025CB19 , 2H049AA03 , 2H049AA13 , 2H049AA34 , 2H049AA37 , 2H049AA48 , 2H097AA20 , 2H097CA17 , 2H097LA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

国際公開第98/36298号パンフレット
感光性組成物、感光性薄膜、及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-297382 Applicant：東京工業大学長
ホログラム及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-404234 Applicant：株式会社筑波リエゾン研究所

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Cited by examiner (5)

光表面レリーフ形成用感光性材料および感光性薄膜、並びにその感光性材料を用いたレリーフ形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-282217 Applicant：財団法人理工学振興会
光学素子、光学素子の製造方法、光学素子複製物、及び光学素子複製物の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-170214 Applicant：富士ゼロックス株式会社
光記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-260476 Applicant：株式会社豊田中央研究所

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