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J-GLOBAL ID：200903022373388563

X線測定装置

Inventor：
馬場 末喜

About 馬場 末喜


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003134098
Publication number (International publication number)：2004340583
Application date： May. 13, 2003
Publication date： Dec. 02, 2004
Summary：
【課題】近年、電子部品の小型化高密度実装技術の進展に従い、可視光線だけでは検査出来ない被検査物が多くなり、X線による検査を併用する測定検査システムの開発がなされており、被検体の光学画像とX線透過画像を同一タイプのTVカメラで撮影し、合成し、一つの画面に表示しているが、構造が複雑となり安定性が得られず、また、高価であるという課題を有していた。【解決手段】上記課題を解決するために本発明のX線測定装置は、X線を照射するX線源と、前記X線の照射方向に対してX線透過部を有し、それ以外の方向に対してX線遮蔽部を有する絞り手段と、前記絞り手段のX線透過部にX線の照射方向に対して角度を付けて所望の波長の光を反射するX線を通過するミラーを一体に設けたものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
X線を照射するX線源と、前記X線の照射方向に対してX線透過部を有し、それ以外の方向に対してX線遮蔽部を有する絞り手段と、前記絞り手段のX線透過部にX線の照射方向に対して角度を付けて所望の波長の光を反射するX線を通過するミラーを一体に設けたX線測定装置。
IPC (2)：
G01N23/04 ,  G01N23/203
FI (2)：
G01N23/04 ,  G01N23/203
F-Term (18)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA09 ,  2G001EA09 ,  2G001HA09 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001JA03 ,  2G001JA04 ,  2G001LA11 ,  2G001SA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • X線撮影装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-011869   Applicant：株式会社東芝
  • X線基板検査装置とX線用可視光反射膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-099377   Applicant：松下電器産業株式会社
  • ディジタル化X線画像生成装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-112894   Applicant：ゼロックスコーポレイション
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