試料の観察方法およびその装置

Inventor： , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998195345
Publication number (International publication number)：2000030652
Application date： Jul. 10, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】欠陥部分を拡大するなどして詳細に検査する時に、ステージの移動量をできるだけ少なくして、画像取得時間を短縮し、効率よく欠陥を観察することができるようにする。【解決手段】検査装置で検出した試料の欠陥の情報に基づいて試料を撮像して試料の欠陥を含まない参照画像を得、検査装置で検出した試料の欠陥の情報に基づいて欠陥が撮像の視野に入るように試料の位置を調整し、この位置を調整した試料を撮像して試料の欠陥を含む欠陥画像を得、参照画像と欠陥画像とを比較してこの欠陥画像中の欠陥を検出し、撮像の視野内の検出した欠陥を含む一部の領域を撮像して欠陥の拡大画像を得、この欠陥の拡大画像を画面上に表示することを特徴とする試料の観察方法とした。

Claim (excerpt)：

試料を観察する方法であって、試料の所望の領域を撮像手段で撮像して得た画像を第1の画面上に表示し、前記画面上に表示された画像内の拡大して観察する領域を前記画像上で指定し、該指定した前記試料の拡大して観察する領域を前記撮像手段で撮像して拡大画像を得、該拡大画像を第2の画面上に表示することを特徴とする試料の観察方法。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 , G01N 23/225 , H04N 5/335

FI (3)：

H01J 37/22 502 C , G01N 23/225 , H04N 5/335 Z

F-Term (24)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA07 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA13 , 2G001JA16 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 5C024AA00 , 5C024CA00 , 5C024DA04 , 5C024HA18 , 5C024HA24 , 5C024HA27 , 5C024JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

電子顕微鏡システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-298645 Applicant：株式会社東芝
走査試料像表示方法および装置ならびにそれに供される試料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-089189 Applicant：株式会社日立製作所
特開平2-170279

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