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J-GLOBAL ID：200903051321674657

透過型電子顕微鏡及びその制御方法

Inventor： 柴田 直哉 ,  沢田 英敬
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  日本電子株式会社
Agent (6)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006065806
Publication number (International publication number)：2007242514
Application date： Mar. 10, 2006
Publication date： Sep. 20, 2007
Summary：

【課題】 試料傾斜機構や人間では制御できない傾斜を電気的に行い、精密な傾斜合わせを実現する透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 高電圧電源に接続した電子銃1から発生し加速された電子線Eは、コンデンサレンズからなる収束レンズ3で収束されてから、偏向部4の2段の偏向コイルにより傾斜されて試料室5内の試料載置台上の試料5に照射される。対物レンズ6には、試料載置台に載置支持された試料5aを透過した電子線が入射する。収差補正器7は、対物レンズ6で発生した収差を補正する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

透過型電子顕微鏡において、 電子銃により発生された電子線を偏向し試料上で当該電子線を傾斜させる ことを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/26

FI (3)：

H01J37/147 A ,  H01J37/153 A ,  H01J37/26

F-Term (5)：

5C033EE08 ,  5C033HH05 ,  5C033HH08 ,  5C033SS01 ,  5C033SS04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-091250   Applicant：日本電子株式会社

Cited by examiner (4)

• 透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-091250   Applicant：日本電子株式会社
• 透過電子顕微鏡の高精度な軸調整方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-020121   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構
• 電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタおよび画像生成型エネルギフィルタの使用
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-549103   Applicant：オミクロンナノ・テヒノロギー・ゲーエムベーハー, フォーカス・ゲーエムベーハー・ゲレーテ・ツーア・エレクトロネンシュペクトロスコピー・ウント・オベルフレヒェンアナリティク
• 粒子-光学装置における球面収差補正用の補正デバイス
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平11-530409   Applicant：フィリップスエレクトロンオプティクスビーヴィ