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J-GLOBAL ID：200903022755612242

自動欠陥分類装置及び自動欠陥検査装置

Inventor：
大金 淳一

About 大金 淳一


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998310661
Publication number (International publication number)：2000138270
Application date： Oct. 30, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 小型で、欠陥検査及び分類を通した処理時間を短縮させ、人間の介在を最小限に抑える、自動欠陥検査装置用の自動欠陥分類装置及び自動欠陥分類装置を備える自動欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 本発明の自動欠陥分類装置50は、自動欠陥検査装置10から製品12の欠陥に関する情報を受け取るためのインタフェース52と、自動欠陥検査装置10の搬送装置14によって搬送されてくる製品12が置かれるステージ54と、ステージ54を水平面内の互いに垂直な2つの方向と水平面に垂直な方向に移動させるための駆動装置56と、撮像装置58と、製品12の各位置の欠陥を分類処理するための処理装置60とを備える。自動欠陥検査装置10と前記ステージ54とを自動欠陥検査装置10の搬送装置14で接続する。
Claim (excerpt)：
製品の欠陥を検査する自動欠陥検査装置のための自動欠陥分類装置であって、自動欠陥検査装置から出力される製品の欠陥に関する情報を受け取るためのインタフェースと、自動欠陥検査装置から搬送されてくる検査済みの前記製品が置かれるステージと、前記ステージを水平面内の互いに垂直なx軸方向及びy軸方向と水平面に垂直なz軸方向に移動させるための駆動装置と、前記製品の画像を撮像するための撮像装置と、自動欠陥検査装置によって欠陥が有ると判定された前記製品の各位置の欠陥を分類処理するための処理装置とを備え、自動欠陥検査装置と前記ステージとを自動欠陥検査装置の搬送装置によって接続するようにした、自動欠陥分類装置。
IPC (2)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/88
FI (2)：
H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 645 A
F-Term (24)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106CA70 ,  4M106DB04 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ26 ,  4M106DJ32
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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