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J-GLOBAL ID：200903023362335006

短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム

Inventor： 内山 茂行 ,  柳沢 邦和 ,  安藤 真
Applicant, Patent owner： アピックヤマダ株式会社
Agent (1)： 柳沢 大作
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999115171
Publication number (International publication number)：2000306864
Application date： Apr. 22, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】ダイシング用フィルムの歩留まりの向上とそのフィルムの短冊ワーク非接着領域の減少化によって、製品を安価にする。【解決手段】 個別の半導体パッケージ19を多数切り出し可能な短冊ワーク17支持用のダイシング用フィルム15を張り渡す穴12を設ける。そして、そのフィルム張り渡し穴12を方形状にする。又、短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム11の輪郭形状を方形状にするとよい。

Claim (excerpt)：

個別の半導体パッケージを多数切り出し可能な短冊ワーク支持用のダイシング用フィルム張り渡し穴を設けた短冊ワークダイシング用フィルム取付フレームにおいて、上記ダイシング用フィルム張り渡し穴を方形状にすることを特徴とする短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ダイシング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-100818   Applicant：株式会社村田製作所
• シート貼付方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-143915   Applicant：株式会社村田製作所
• 半導体パッケージ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-165847   Applicant：シチズン時計株式会社
• 回転式基板処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-251580   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社