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J-GLOBAL ID：200903023628065646
照明光学装置および該装置を備えた露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995237779
Publication number (International publication number)：1997063943
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 二次光源の形状または大きさの変更に伴う被照射面における照度分布の変動を補正する。【解決手段】 光源からの光束に基づいて多数の二次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段により形成される多光源の形状または多光源の大きさを変更する変更手段と、該変更手段により設定された所定の形状または所定の大きさを有する多光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを備え、被照射面における照度分布がほぼ均一になるように、変更手段による多光源の形状または多光源の大きさの変更に応じて、コンデンサー光学系の少なくとも一部の光学要素を移動させる。
Claim (excerpt)：
光源からの光束に基づいて多数の二次光源を形成する多光源形成手段と、該多光源形成手段により形成される多光源の形状または多光源の大きさを変更する変更手段と、該変更手段により設定された所定の形状または所定の大きさを有する多光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを備え、前記被照射面における照度分布がほぼ均一になるように、前記変更手段による多光源の形状または多光源の大きさの変更に応じて、前記コンデンサー光学系の少なくとも一部の光学要素を移動させることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/20 521
