液中プラズマ成膜装置、液中プラズマ用電極および液中プラズマを用いた成膜方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大川宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008236934
Publication number (International publication number)：2009235559
Application date： Sep. 16, 2008
Publication date： Oct. 15, 2009
Summary：

【課題】基材としての第二電極を用いることなく液中にプラズマを発生させることが可能な液中プラズマ成膜装置および液中プラズマ用電極を提供する。【解決手段】基材Sと原料を含む液体Lとを収容可能な容器1と、容器1に配設される液中プラズマ用電極2と、液中プラズマ用電極2に電力を供給する電源装置3と、を有する液中プラズマ成膜装置において、液中プラズマ用電極2は、放電端部22を有する主電極21と、放電端部22に対向するとともに、互いに対向する放電端部22と基材Sとの間に配設される副電極26と、放電端部22の表面22aと表面22aに対向する副電極26の表面26aとで区画された空間をもち、主電極21に電力が供給されることで空間にプラズマを発生させるプラズマ発生部29と、を備える。プラズマ発生部29で発生したプラズマを基材Sに接触させて、基材Sの表面に原料の分解成分を堆積させる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材と原料を含む液体とを収容可能な容器と、該容器中に配設される液中プラズマ用電極と、該液中プラズマ用電極に電力を供給する電源装置と、を有する液中プラズマ成膜装置において、前記液中プラズマ用電極は、前記液体と接触する放電端部を有し導電性をもつ主電極と、前記液体と接触し、前記放電端部の位置を基準として前記基材が配設される位置よりも該放電端部側に配設されかつ該放電端部に対向する、導電性をもつ副電極と、前記放電端部の表面と該表面に対向する前記副電極の表面とで区画された空間をもち、該主電極に電力が供給されることで該空間に形成される気泡の内部に前記原料からなるプラズマを発生させるプラズマ発生部と、を備え、前記プラズマ発生部で発生した前記プラズマを内包する気泡を前記基材に接触させて、該基材の表面に該原料の分解成分を堆積させることを特徴とする液中プラズマ成膜装置。

IPC (2)：

C23C 16/505 , H05H 1/24

FI (2)：

C23C16/505 , H05H1/24

F-Term (11)：

4K030AA10 , 4K030BA27 , 4K030BB05 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030EA01 , 4K030FA03 , 4K030JA03 , 4K030KA15 , 4K030KA19 , 4K030KA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-098193 Applicant：株式会社テクノネットワーク四国
液中プラズマ発生装置および薄膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-313979 Applicant：株式会社テクノネットワーク四国
国際公開2006/059808号パンフレット

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

液中プラズマ装置における電極形状の最適化に関する研究

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