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J-GLOBAL ID：200903024028601494
光検出または照射用のプローブ、及び該プローブを備えた近視野光学顕微鏡・記録再生装置・露光装置、並びに該プローブの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998044402
Publication number (International publication number)：1998293134
Application date： Feb. 10, 1998
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、微小な開口を再現性良く形成でき、基板上に集積化が容易で、かつ、複数の微小開口を形成したときに開口径のばらつきが小さく、バッチプロセスで形成できるため生産性が高い、微小開口または微小開口を有する突起、及びこれを用いた集積化・小型化された光プローブ、近視野光学顕微鏡、記録再生装置、露光装置、並びにこれらの微小開口または微小開口を有する突起を備えたプローブの製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のプローブは、光検出または光照射用のプローブにおいて、基板に支持された、変位可能な支持体と、前記支持体上に形成された微小開口を有する突起部と、前記突起部を前記支持体上に接合するための接合層とを備えることを特徴とするものであり、また本発明は該プローブを用いて近視野光学顕微鏡、記録再生装置、露光装置を構成し、並びに該プローブの製造方法を構成したことを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
光検出または光照射用のプローブにおいて、基板に支持された、変位可能な支持体と、前記支持体上に形成された微小開口を有する突起部と、前記突起部を前記支持体上に接合するための接合層とを備えることを特徴とするプローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
Cited by examiner (5)
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