近視野光学装置用インテリジェントセンサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：湯浅恭三 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995505020
Publication number (International publication number)：1997500964
Application date： Jul. 22, 1994
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】光子走査トンネル顕微鏡検査(PSTM)または走査近視野光顕微鏡検査(SNOM)に使用することの可能な光装置は片持ばり(31)上に一体に支持されたプローブ(30)を備えている。プローブと片持ばりはAFM先端ものと同一の特定の光のみを通過させるようにされた半導体物質から、例えばシリコンまたはシリコン窒化物を材料として形成することが可能である。片持ばりは光電子集積回路(OEIC)へまたは該回路から光子を指向する光ガイドとして機能する。先端の形状はエッチング技術によりピラミッド状または円錐状等の形状に適合することが可能である。センサは、表面のPSTM画像形成、所定の位置におけるプローブ先端の3次元位置のPSTM制御、AFMまたはSTMまたはその他の任意の局部の同時測定及び/または特定の位置の光子の収集または搬送等の幾つかの仕事を同時に行うのに集中して使用される。消失性波を使用することにより、装置は1Å乃至50Å間の中間微小範囲への接近を可能とする。プローブはまたスキャナとしの機能をはたすことも可能である。

Claim (excerpt)：

プローブを支持する片持ばりを含んだインテリジェント光センサであって、該プローブ及び片持ばりが光路を有し、該光路の少なくとも一部が消失性波を捕捉するように適合され且つ前記プローブの先端まで伸長し、該光路がまた前記センサの外部結合部まで伸長していることを特徴とするインテリジェント光センサ。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 11/00

FI (2)：

G01N 37/00 E , G01B 11/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開平4-311839
透過型近接場走査型顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-359477 Applicant：株式会社ニコン
集積型多機能SPMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-141943 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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