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J-GLOBAL ID：200903024040724240

ステージ装置及び露光装置

Inventor：
田中 慶一

About 田中 慶一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002340522
Publication number (International publication number)：2004179216
Application date： Nov. 25, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：
【課題】ステージ部の移動に伴う振動を遮断できる、あるいは、真空領域内で高精度な位置決めを行うことができる等の利点を有するステージ装置等を提供する。【解決手段】本発明のステージ装置は、粗動ステージ機構1と微動テーブル機構101とを組み合わせたものである。粗動ステージ41には、微動テーブル機構101が非接触に係合しているため、微動テーブル機構101は粗動ステージ41に引き連れられる形で駆動される。微動テーブル機構101は、粗動ステージ41下面側に配置されたテーブルベース103と、粗動ステージ41上側に配置された微動テーブル105とが、四本のZ駆動アクチュエータ107で連結された構成を有する。テーブルベース103の上面側四隅のサポート壁部材120には、それぞれ電磁的サポートアクチュエータ130及びギャップセンサ140が埋め込まれている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
ある平面上で粗動ステージを移動・位置決めする粗動ステージ機構と、 前記粗動ステージ上で微動テーブルを移動・位置決めする微動テーブル機構と、 を備えるステージ装置であって、 前記粗動ステージに対して前記微動テーブルが非接触で係合していることを特徴とするステージ装置。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (4)：
H01L21/30 541L ,  G03F7/20 504 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 531A
F-Term (29)：
2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5F031HA12 ,  5F031HA50 ,  5F031HA55 ,  5F031HA63 ,  5F031JA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031LA10 ,  5F031LA11 ,  5F031LA15 ,  5F031NA05 ,  5F046AA23 ,  5F046CC13 ,  5F046CC17 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12 ,  5F046GA14 ,  5F056CB21 ,  5F056EA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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