Pat
J-GLOBAL ID：200903085864694412

露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め装置

Inventor：
涌井 伸二

About 涌井 伸二


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998072221
Publication number (International publication number)：1999274031
Application date： Mar. 20, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：
【要約】【課題】 軽量であり、且つ高剛性で高精度な露光装置を提供する。【解決手段】 レチクルパターンを感光基板に露光転写する露光装置において、該レチクルもしくは該感光基板を保持するテーブルと、該テーブルを位置決めするためのパラレルリンク機構を備えていることを特徴とする。また、第1物体と第2物体の相対的な位置合わせを行なう装置において、該第1物体を保持して移動させる第1パラレルリンク機構と、該第2物体を保持して移動させる第2パラレルリンク機構とを有し、該第1パラレルリンク機構と該第2パラレルリンク機構は共通のベースに支持され、該ベースベースは第3物体を支持し、該第3物体に対する前記第1物体並びに前記第2物体の位置決めがなされることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
レチクルパターンを感光基板に露光転写する露光装置において、該レチクルもしくは該感光基板を保持するテーブルと、該テーブルを位置決めするためのパラレルリンク機構を備えていることを特徴とする露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00
FI (5)：
H01L 21/30 515 F ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM