記録媒体作製方法とこれを用いた記録媒体及び情報記録再生装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004155005
Publication number (International publication number)：2005339633
Application date： May. 25, 2004
Publication date： Dec. 08, 2005
Summary：

【課題】量産化のときのスループットが良好で、低価格化が可能であり、微細加工によって得られたパターンの形状や寸法の制御が容易で、正確なパターン転写が可能で、かつ均一性に優れる記録媒体作製方法を提供する。【解決手段】基板5上に磁性層1を形成し(a)、磁性層1上の所望の部分にナノ粒子膜16を形成する(b)。その後、ナノ粒子膜をマスクにして磁性層を切削加工し(c)、ナノ粒子膜を除去して磁性層に凹凸形状を持った微細パターン2を形成する(d)。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

基板上に磁性層を形成する工程と、前記磁性層上の所望の部分にナノ粒子膜を形成する工程と、前記ナノ粒子膜をマスクにして前記磁性層を切削加工する工程と、その後ナノ粒子膜を除去して前記磁性層にパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする記録媒体作製方法。

IPC (2)：

G11B5/84 , G11B5/02

FI (3)：

G11B5/84 Z , G11B5/02 S , G11B5/02 T

F-Term (6)：

5D091CC01 , 5D091CC11 , 5D091CC26 , 5D112AA05 , 5D112AA24 , 5D112GA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (11)

磁性体のパターニング方法、磁気記録媒体、磁気ランダムアクセスメモリ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-399848 Applicant：株式会社東芝
高密度磁気データ記憶媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-063597 Applicant：データストレ-ジインスティテュート
分子エレクトロニクス用に分子を整列させるために1つまたは複数のナノポアを形成する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-363419 Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー

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Cited by examiner (6)

磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、及び磁気記録装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-191846 Applicant：株式会社東芝
特開平3-040219
微細構造の作製法、微細構造、磁気センサ、磁気記録媒体および光磁気記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-221466 Applicant：株式会社日立製作所

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