焼結体の密度測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小越勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000149598
Publication number (International publication number)：2001330544
Application date： May. 22, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】水中における重量測定の時間ロスを減少させ、スパッタリング用ITOターゲット等の焼結体の密度測定を短時間で精密に重量測定を行う方法の提供。【解決手段】アルキメデスの原理による焼結体の密度測定に際し、水中重量を積算平均により算出することを特徴とする焼結体の密度測定方法。具体的には、物体の形状若しくは寸法又は重量によらず1〜5回/秒の頻度で少なくとも40秒以下の重量測定を行う。又、積算平均方法により算出した密度(イ)と積算平均方法を用いずに水中重量が十分減衰し静止した後の値を用いて算出した密度(ロ)との差が、密度(ロ)の0.05%以内であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

アルキメデスの原理による焼結体の密度測定に際し、水中重量を積算平均により算出することを特徴とする焼結体の密度測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平1-244336
特開平1-244336
スパイクノイズの除去方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-129954 Applicant：株式会社明電舎

Show all

Return to Previous Page