Pat
J-GLOBAL ID:200903024774143337
太陽電池素子の形成方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002342880
Publication number (International publication number):2004179336
Application date: Nov. 26, 2002
Publication date: Jun. 24, 2004
Summary:
【課題】電極の剥離の発生を防止するとともに、半導体基板の割れを防止できる太陽電池素子の形成方法を提供する。【解決手段】一導電型を呈する半導体基板1の一主面側に逆導電型半導体不純物を拡散するとともに、第一の金属を主成分とする表面電極4を形成し、他の主面側に第二の金属を主成分とする集電部5とこの第二の金属よりも半田濡れ性のよい第三の金属を主成分とする出力取出部6とから成る裏面電極を形成する太陽電池素子の形成方法であって、上記半導体基板1の一主面側に上記表面電極4となる第一の金属を主成分とするペーストを塗布するとともに、他の主面側に上記裏面電極の出力取出部6となる第三の金属を主成分とするペーストを塗布して1回目の焼成を行った後、他の主面側に上記裏面電極の集電部5となる第二の金属を主成分とするペーストを塗布して2回目の焼成を行う。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
一導電型を呈する半導体基板の一主面側に逆導電型半導体不純物を拡散するとともに、第一の金属を主成分とする表面電極を形成し、他の主面側に第二の金属を主成分とする集電部とこの第二の金属よりも半田濡れ性のよい第三の金属を主成分とする出力取出部とから成る裏面電極を形成する太陽電池素子の形成方法において、前記半導体基板の一主面側に前記表面電極となる第一の金属を主成分とするペーストを塗布するとともに、他の主面側に前記裏面電極の出力取出部となる第三の金属を主成分とするペーストを塗布して1回目の焼成を行った後、他の主面側に前記裏面電極の集電部となる第二の金属を主成分とするペーストを塗布して2回目の焼成を行うことを特徴とする太陽電池素子の形成方法。
IPC (3):
H01L31/04
, H01L21/28
, H01L21/288
FI (5):
H01L31/04 H
, H01L21/28 301R
, H01L21/288 M
, H01L21/288 Z
, H01L31/04 M
F-Term (30):
4M104AA01
, 4M104BB02
, 4M104BB06
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB39
, 4M104CC01
, 4M104DD51
, 4M104DD55
, 4M104DD78
, 4M104EE17
, 4M104EE20
, 4M104FF02
, 4M104GG02
, 4M104GG05
, 4M104HH08
, 4M104HH15
, 4M104HH20
, 5F051BA18
, 5F051CB13
, 5F051CB27
, 5F051DA03
, 5F051EA15
, 5F051FA06
, 5F051FA10
, 5F051FA14
, 5F051FA15
, 5F051FA16
, 5F051FA30
, 5F051HA03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
-
太陽電池素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-116996
Applicant:京セラ株式会社
-
太陽電池セルおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-300123
Applicant:シャープ株式会社
-
半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-142377
Applicant:三菱電機株式会社
-
太陽電池及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-365859
Applicant:シャープ株式会社
-
太陽電池の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-281302
Applicant:シャープ株式会社
-
光電変換装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-130499
Applicant:シャープ株式会社
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Cited by examiner (6)
-
太陽電池素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-116996
Applicant:京セラ株式会社
-
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Application number:特願平8-300123
Applicant:シャープ株式会社
-
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Application number:特願平9-142377
Applicant:三菱電機株式会社
-
太陽電池及びその製造方法
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Application number:特願平10-365859
Applicant:シャープ株式会社
-
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Application number:特願平5-281302
Applicant:シャープ株式会社
-
光電変換装置の製造方法
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Application number:特願平4-130499
Applicant:シャープ株式会社
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