連続式プラズマ処理・表面加工方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江孝一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999110811
Publication number (International publication number)：2000302902
Application date： Apr. 19, 1999
Publication date： Oct. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】厚みや形状などが多種多様な被処理物に対する適用性の拡充が図れるとともに、事前処理を要することなく片方の表面のみに対する所定の加工処理を非常に効率よく行なうことができるようにする。【解決手段】大気圧下でグロー放電プラズマの発生に伴い生成される化学的に活性な励起種を含むガス流を一方向に向けて直線状に噴出可能なプラズマ発生装置2から噴出されるガス流を、搬送装置1により連続搬送される被処理物Sの片方の表面Saに照射させることによって、その片方の表面Saをプラズマ処理した後、続いて、プラズマ処理後の片方の表面Saに、印刷や塗装あるいはグラフト処理などの所定の加工処理を行なう。

Claim (excerpt)：

高圧電極と接地電極との間に形成される放電部に少なくともヘリウムまたは水素を含む不活性ガスと酸素または含フッ素化合物(フルオロカーボン系)ガスを含む反応性気体との混合反応ガスを大気圧もしくは大気圧近傍圧力下で導入し通過させるとともに上記両電極に高周波電力を供給することにより上記放電部にグロー放電プラズマを発生させて化学的に活性な励起種を含むガス流を生成し、かつ、そのガス流を一方向に向けて直線状に噴出可能なプラズマ発生装置から噴出されるガス流を搬送装置により連続的もしくは略連続的に搬送されるシート状被処理物の片方の表面に照射させることによって、該被処理物の片方の表面を面状にプラズマ処理した後、そのプラズマ処理された被処理物の片方の表面に所定の加工処理を施すことを特徴とする連続式プラズマ処理・表面加工方法。

IPC (3)：

C08J 7/00 306 , H05H 1/24 , D06M 10/02

FI (3)：

C08J 7/00 306 , H05H 1/24 , D06M 10/02 C

F-Term (17)：

4F073AA01 , 4F073BA03 , 4F073BA07 , 4F073BA08 , 4F073BA16 , 4F073BB09 , 4F073CA01 , 4F073CA07 , 4F073CA08 , 4F073CA14 , 4F073CA62 , 4F073CA65 , 4F073CA67 , 4L031CB05 , 4L031DA00 , 4L031DA08 , 4L031DA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭61-118136
円筒型連続プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-214149 Applicant：キモトテツクインコーポレイテツド
大気圧吹き出し型プラズマ反応装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-272853 Applicant：小駒益弘, 岡崎幸子

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