Pat

J-GLOBAL ID：200903025649222264

水晶角速度センサ

Inventor： 川島 宏文
Applicant, Patent owner： 有限会社ピエデック技術研究所
Agent (1)： 杉村 興作 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001141078
Publication number (International publication number)：2002340559
Application date： May. 11, 2001
Publication date： Nov. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 小型で、角速度の高い検出感度を有する水晶角速度センサを提供する事にある。【解決手段】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け、当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置している。

Claim (excerpt)：

屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置した事を特徴とする水晶角速度センサ。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18

FI (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A

F-Term (6)：

2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-317774   Applicant：日本碍子株式会社
• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-161276   Applicant：キンセキ株式会社
• 特許第3477618号
  
• 角速度検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-044688   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• ジャイロ装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-005177   Applicant：株式会社トキメック
• 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-327264   Applicant：株式会社トーキン