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J-GLOBAL ID：200903025693312149

微小突起を有するプローブ、及びその製造方法

Inventor：
島田 康弘

About 島田 康弘

, 
八木 隆行

About 八木 隆行

, 
黒田 亮

About 黒田 亮


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998218505
Publication number (International publication number)：2000035396
Application date： Jul. 16, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】本発明は、S/N比の向上により優れた光検出の分解能を発揮することができ、あるいは優れた温度検出の分解能を発揮することができ、また、再現性良く均一な形状で、且つ先端を鋭利に形成することができ、生産性の向上と製造コストの低減を図ることが可能な微小突起を有するプローブ、及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、内部に空隙を有する少なくとも一つ以上の微小突起を、基板上または弾性体上に形成された電気的に独立した2つの接合層にまたがって接合してなるプローブまたはその製造方法であって、該微小突起は接合界面を有する少なくとも互いに異なる2層の材料層からなり、該2層のそれぞれの材料層が電気的に独立するように前記2つの接合層のいずれかに接続して構成されていることを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
内部に空隙を有する少なくとも一つ以上の微小突起を、基板上または弾性体上に形成された電気的に独立した2つの接合層にまたがって接合してなるプローブであって、該微小突起は接合界面を有する少なくとも互いに異なる2層の材料層からなり、該2層のそれぞれの材料層が電気的に独立するように前記2つの接合層のいずれかに接続されていることを特徴とするプローブ。
IPC (3)：
G01N 13/14 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 E ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
F-Term (36)：
2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063CA08 ,  2F063CA09 ,  2F063CA40 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB05 ,  2F063EB07 ,  2F063EB15 ,  2F063EB21 ,  2F063EB23 ,  2F063EB27 ,  2F063EC02 ,  2F063EC26 ,  2F063JA04 ,  2F063JA09 ,  2F063JA10 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD19 ,  2F069DD26 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG16 ,  2F069GG62 ,  2F069GG66 ,  2F069HH02 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069LL04 ,  2F069RR03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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