静電チャック及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994283918
Publication number (International publication number)：1996125002
Application date： Oct. 25, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】上層の誘電体の厚さを均一にした吸着力の優れた静電チャックを提供し、さらにその製造方法も提供すること。【構成】上層の誘電体には、TiO2、またはAl2O3とし、中層の電極には、大気中で焼成できるPd-Ag系の導体とし、下層の基盤には、アルミナ、またはAlNとした静電チャック。上記静電チャックの製造方法として、下層の基盤をあらかじめ焼成し、その表面を研削して平坦にした後、平坦にした面に中層の電極を形成し、その上面に上層の誘電体シートを熱圧着して、あるいはあらかじめ誘電体シートの下面に電極を形成したシートを基盤の上面に熱圧着してさらに焼成することとした静電チャックの製造方法。

Claim (excerpt)：

上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該誘電体がTiO2を主成分とするセラミックスであり、該電極がPdにAgを65wt%以下含む導体であり、該基盤がAl2O3又はAlNセラミックスであることを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-160444
特開昭62-264638
導体ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-018342 Applicant：住友金属鉱山株式会社

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