光空洞からなる物品

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡部正夫 (外11名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001083938
Publication number (International publication number)：2001296483
Application date： Mar. 23, 2001
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】ミクロンサイズの寸法を有する、光インターフェース効果を作るのに適した光空洞を特徴とすること。【解決手段】光空洞からなる物品は、互いに間隔が置かれて平行な2つのミラーを含み、少なくとも1つのミラーは、好適に可動になっている。いくつかの実施例では、両ミラーは、応力が加えられていない単結晶シリコンから形成される。いくつかの実施例で使用される単結晶シリコンは、好適には絶縁物上単結晶シリコン(SOI)ウェハから供給される。本発明による方法では、第1のミラーが、第1のSOIウェハの薄いシリコン層にパターン化される。第1のミラーの近くの薄いシリコン層上に、支柱が配置される。第2のSOIウェハの薄いシリコン層は、2つの間隔を置かれた薄いシリコン層間にギャップがあるように、支柱に取り付けられる。第2のSOIウェハの薄いシリコン層は、そのウェハから厚いシリコン層および埋設された酸化物を除去することにより解放されて可動ミラーを形成する。

Claim (excerpt)：

光信号を受信するように動作可能な光空洞からなる物品であって、上記光空洞は、単結晶シリコンからなる第1の可動ミラーと、単結晶シリコンからなり、上記可動ミラーから間隔が置かれてそれと平行関係にある第2のミラーとを含む物品。

IPC (2)：

G02B 26/02 , G02B 6/26

FI (2)：

G02B 26/02 E , G02B 6/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

集積型同調可能型ファブリペロット形干渉計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-262097 Applicant：コミツサリアタレネルジーアトミーク
複合デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-291077 Applicant：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
光走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-348234 Applicant：株式会社デンソー, 江刺正喜

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

1997 International Conference on Solid -State Sensors and Actuators,TRANDUCERS'97, 1997, 4D3.06P,1469-1472
Micro Electro Mechanical Systems, 1998. MEMS 98. Proceedings., The Eleventh Annual International Wor, 1998, p.110 - 115

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