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J-GLOBAL ID：200903055872864789

光走査装置

Inventor： 川崎 栄嗣 ,  江刺 正喜 ,  大塚 義則 ,  服部 正
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー ,  江刺 正喜
Agent (1)： 伊藤 洋二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997348234
Publication number (International publication number)：1998253912
Application date： Dec. 17, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光走査装置を小型化し、その場合の動作特性のばらつきを少なくするとともにミラーの位置精度を高め、さらに振動部の振動動作を保証して、外的要因により動作特性が変わるのを防止する。【解決手段】 シリコン基板1に薄肉部を形成し、この肉薄部にミラー部12等の可動部12〜16を形成し、圧電体膜21〜24により可動部12〜16を駆動する。この駆動により、ミラー部12は異なる軸方向に捩じれ振動する。ミラー部12には金属薄膜が形成されており、その金属薄膜に光を入射することにより、2次元での光走査を行うことができる。

Claim (excerpt)：

薄肉部(2)が形成された半導体基板(1)と、前記薄肉部を振動させる加振手段(21〜24)とを備え、前記薄肉部には光を出射する光出射部(10)が設けられていることを特徴とする光走査装置。

IPC (2)：

G02B 26/10 101 ,  G06K 7/10

FI (2)：

G02B 26/10 101 ,  G06K 7/10 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-320524   Applicant：日本信号株式会社, 江刺正喜
• 特開平1-316718
  
• 光スキャナ、光センサ装置及び符号情報読み取り装置並びに符号情報読み取り方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-070808   Applicant：オムロン株式会社
• 光走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-123043   Applicant：オムロン株式会社
• 2次元光走査装置及びそれを用いたバーコード読取装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-262583   Applicant：日本電装株式会社
• 光偏向子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-168206   Applicant：富士電機株式会社
• 光偏向素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-139477   Applicant：オリンパス光学工業株式会社, 江刺正喜