カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法、並びに、カーボンナノチューブ転写体

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：中村智廣 , 成瀬勝夫 , 小泉雅裕 , 青谷一雄 , 井出哲郎 , 片岡忠彦 , 鳥野正司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003155416
Publication number (International publication number)：2004351602
Application date： May. 30, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：

【課題】カーボンナノチューブの電気的あるいは物理的な各種特性を効果的に生じさせることが可能なカーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】基体12の表面に、少なくとも、複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層14が、任意のパターンで形成されてなるカーボンナノチューブデバイス、並びに、基体12の表面に、官能基を有するカーボンナノチューブ、及び、前記官能基と架橋反応を起こす架橋剤を含む溶液を塗布する塗布工程と、塗布後の前記溶液を硬化して、前記複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層14を形成する架橋工程と、カーボンナノチューブ構造体層14を所望のパターンにパターニングするパターニング工程と、を含むカーボンナノチューブデバイスの製造方法である。【選択図】図9

Claim (excerpt)：

基体の表面に、少なくとも、複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体層が、任意のパターンで形成されてなることを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。

IPC (7)：

B82B1/00 , B82B3/00 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L29/06 , H05K1/09 , H05K3/06

FI (8)：

B82B1/00 , B82B3/00 , H01L21/28 301Z , H01L29/06 601N , H05K1/09 Z , H05K3/06 Z , H01L21/88 M , H01L29/28

F-Term (42)：

4E351AA06 , 4E351AA08 , 4E351BB01 , 4E351BB09 , 4E351BB31 , 4E351CC11 , 4E351DD29 , 4E351DD51 , 4E351EE03 , 4E351GG12 , 4M104AA01 , 4M104AA10 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD22 , 4M104DD51 , 4M104DD64 , 4M104DD65 , 4M104DD71 , 4M104DD79 , 4M104FF11 , 4M104FF13 , 4M104GG19 , 4M104HH08 , 5E339BB10 , 5E339BC10 , 5E339BD12 , 5E339BE12 , 5E339CD01 , 5E339CF15 , 5F033GG03 , 5F033HH36 , 5F033MM05 , 5F033PP26 , 5F033QQ08 , 5F033QQ13 , 5F033QQ14 , 5F033QQ19 , 5F033QQ53 , 5F033QQ73 , 5F033VV08 , 5F033XX13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

カーボンナノチューブ構造体の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-150904 Applicant：富士ゼロックス株式会社
多層カーボンナノチューブの酸化方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-512958 Applicant：ハイピリオンカタリシスインターナショナルインコーポレイテッド
カーボンナノチューブのパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-337441 Applicant：日本電気株式会社

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Cited by examiner (2)

カーボンナノチューブ構造体の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-150904 Applicant：富士ゼロックス株式会社
多層カーボンナノチューブの酸化方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-512958 Applicant：ハイピリオンカタリシスインターナショナルインコーポレイテッド

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