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J-GLOBAL ID：200903026659683460

光電変換装置の製造工程管理方法

Inventor：
平石 将史

About 平石 将史

, 
澤井 和典

About 澤井 和典


Applicant, Patent owner：
鐘淵化学工業株式会社

About 鐘淵化学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999274907
Publication number (International publication number)：2001102604
Application date： Sep. 28, 1999
Publication date： Apr. 13, 2001
Summary：
【要約】【課題】 光電変換装置の製造工程の管理、検査結果の管理を統一して行うことを可能とする、光電変換装置製造工程の品質管理方法を提供することを目的とする。【解決手段】 透光性基板の成膜される面とは反対側の面の周縁領域または側面の、各層に対するレーザースクライブのためのレーザー光が照射されない領域に、製造工程の管理のためのマークを付し、以後の各製造工程において、前記マークを読取り、読取られたマークを利用して各製造工程の管理を行うことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
透光性基板の一方の面に透明電極層、半導体層、および裏面電極層を順次成膜し、これらを各成膜ごとに各層をレーザースクライブして複数の光電変換セルを形成し、これら光電変換セルを集積化して光電変換モジュールを形成し、これら各層の透光性基板の周辺部をレーザースクライブして光電変換モジュールの発電領域と周縁領域とを電気的に分離し、得られた光電変換装置を検査する光電変換装置の製造工程において、前記透光性基板の他方の面の周縁領域または側面の、前記各層に対するレーザースクライブのためのレーザー光が照射されない領域に、製造工程の管理のためのマークを付し、以後の各製造工程において、前記マークを読取り、読取られたマークを利用して各製造工程の管理を行うことを特徴とする光電変換装置の製造工程管理方法。
F-Term (4)：
5F051BA14 ,  5F051CA31 ,  5F051EA16 ,  5F051GA11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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