近視野光デバイスとその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999363008
Publication number (International publication number)：2001174393
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】強度の大きな近視野光を照射することができる近視野光デバイス及び、そのような近視野光デバイスを作製する製造方法を得ること。【解決手段】近視野光を照射および/あるいは検出を行う近視野光デバイスが、遮光膜2と、遮光膜2に形成された逆錘状の窪み11と、逆錘状の窪み11の先端にあり大きさが光の波長以下である近視野光照射口1と、遮光膜2を支持する支持体3からなり、遮光膜2の膜厚が10〜5000nmである構成とする。また、近視野光照射口11を形成する工程において、少なくとも1つ以上の錘状の圧子によって遮光膜2に圧痕を形成する工程を含むことを特徴とする近視野光デバイスの製造方法とする。

Claim (excerpt)：

近視野光を照射および/あるいは検出を行う近視野光デバイスにおいて、遮光膜と、前記遮光膜に形成された逆錘状の窪みと、前記逆錘状の窪みの先端にあり、大きさが光の波長以下である近視野光照射口と、前記遮光膜を支持する支持体からなることを特徴とする近視野光デバイス。

IPC (7)：

G01N 13/14 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01N 13/10 , G11B 7/12 , G11B 7/135 , G12B 21/06

FI (7)：

G01N 13/14 B , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z , G01N 13/10 G , G11B 7/12 , G11B 7/135 Z , G12B 1/00 601 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

平面プローブ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-266870 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
光検出または照射用プローブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-120059 Applicant：キヤノン株式会社
光ファイバープローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-313921 Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー

Show all

Return to Previous Page