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J-GLOBAL ID：200903027439930382

走査型プローブ顕微鏡の制御装置及び方法

Inventor：
渡辺 和俊

About 渡辺 和俊

, 
鹿倉 良晃

About 鹿倉 良晃


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999048919
Publication number (International publication number)：2000241334
Application date： Feb. 25, 1999
Publication date： Sep. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】半導体レーザ光が照射されることによるカンチレバーの熱変形及び半導体レーザの光量の時間変動があるにもかかわらず、カンチレバー探針と試料間に作用する力設定部の出力値は一定の値のままであるので結局カンチレバー探針と試料間に作用する力は変動することになる。【解決手段】ある時間間隔で、カンチレバー探針と試料間の距離を離し、カンチレバー探針に応力の作用しない状態での変位検出器の出力を測定し、その値を基準として再度力設定部の出力値を設定することにより、半導体レーザ光が照射されることによるカンチレバーの熱変形及び半導体レーザの光量の時間変動による、変位検出器の変動分の累積を抑制し、長時間にわたるカンチレバー探針と試料間に作用する力を一定に制御する。
Claim (excerpt)：
カンチレバー探針と試料間に作用する物理量を検出して試料表面の形状及び物理情報を測定する走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー探針と試料との間の距離を検出するセンサー系の出力信号の温度などに起因する時間ドリフトを走査測定しながら補正し、カンチレバー探針と試料間に作用する力の時間変化を常に一定にすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の制御装置。
IPC (2)：
G01N 13/16 ,  G01N 37/00
FI (2)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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