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J-GLOBAL ID：200903094800462290

表面形状取得装置及び表面形状取得方法

Inventor： 関口 英紀 ,  若菜 伸一 ,  阪田 裕司 ,  浜 壮一 ,  藤井 彰 ,  松本 純 ,  鈴木 健司 ,  梅原 康敏 ,  小木曽 祥明
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996058903
Publication number (International publication number)：1997250922
Application date： Mar. 15, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 探針を所定の間隔で移動させながら被測定物に接触させて微細な凹凸形状を取得する表面形状取得装置及び表面形状取得方法において、測定時間を短縮し、測定精度を向上させる。【解決手段】 探針の振動を検出するギャップセンサアンプ25の出力を、制御部21から出力されたZ(上下方向)微動信号にフィードバックする。また、プローブ10を下降する際に、下降速度をゼロから徐々に増加する。更に、プローブ10の上昇距離を、プローブ10の先端に設けられた探針の形状及び被測定物の凹凸の最大値に基づいて決定する。

Claim (excerpt)：

上下方向に移動可能に支持されて被測定物との接触を検出するプローブと、このプローブを上下方向に移動させるプローブ上下方向移動手段と、前記プローブを前記被測定物に対し水平方向に移動させる水平方向移動手段と、前記プローブの出力を前記プローブ上下方向移動手段にフィードバックして前記プローブの振動を低減する振動低減手段とを有することを特徴とする表面形状取得装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-292036   Applicant：富士通株式会社, 株式会社アドバンテスト
• 圧電体薄膜評価装置、原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-048307   Applicant：キヤノン株式会社
• 原子間力顕微鏡用カンチレバー装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-286318   Applicant：三菱電機株式会社